【康沃真空網(wǎng)】我國目前已成為了OLED面板生產(chǎn)大國，占據(jù)全球近一半的市場份額。但我國在OLED生產(chǎn)設(shè)備真空蒸鍍機(jī)技術(shù)發(fā)展上一直較為落后，不得不受制于日韓。值得欣慰的是我國一直在關(guān)鍵裝備國產(chǎn)化的道路上不斷努力，功夫不負(fù)有心人，我國最近在真空蒸鍍機(jī)關(guān)鍵技術(shù)上已取得重大突破，擺脫國外技術(shù)依賴指日可待！

　　真空蒸鍍機(jī)，OLED面板制程的“心臟”。對于我們來說，真空鍍膜機(jī)可能比較陌生，甚至比光刻機(jī)還要陌生，但目前我們所使用的移動設(shè)備的屏幕，幾乎都是由它制造出來的。以手機(jī)為例，目前手機(jī)屏幕大部分都為AMOLED，但由于蒸鍍機(jī)設(shè)備費(fèi)用昂貴，所以在手機(jī)的成本當(dāng)中，芯片并不是最貴的，最貴的是屏幕。當(dāng)我們的手機(jī)屏幕摔壞時，換屏幕的費(fèi)用相信大家是深有體會的。

　　真空蒸鍍機(jī)原理

　　真空蒸鍍機(jī)的原理就如字面上的意思一樣，為真空鍍膜。意思就是在真空中通過電流加熱、電子束轟擊加熱和激光加熱等方法，蒸發(fā)鍍膜材料并使之氣化，再使氣化后的分子碰撞基片表面而凝結(jié)，最后形成薄膜的過程。

　　而我國在這之前并沒有真空蒸鍍機(jī)，主要向日韓方面采購，而世界上性能最優(yōu)的生產(chǎn)廠家為CANON TOKKI公司。該公司的真空蒸鍍機(jī)性能有多優(yōu)秀呢？它能把有機(jī)發(fā)光材料蒸鍍到基板上的誤差控制在5微米內(nèi)（1微米相當(dāng)于頭發(fā)直徑的1％），目前世界上沒有其他公司的蒸鍍機(jī)能達(dá)到這個精準(zhǔn)度。當(dāng)然價格也是天價，一臺設(shè)備超過1億美元，基本上和光刻機(jī)的價格持平了。關(guān)鍵是有錢還不一定能買到，該公司一年量產(chǎn)不到10臺，大部分還主要供給三星，而我國京東方當(dāng)年花費(fèi)大力氣買到一臺TOKKI的設(shè)備才奠定了其在我國OLED生產(chǎn)領(lǐng)域的地位。

　　所以擁有了高性能的真空蒸鍍機(jī)才算是擁有OLED面板生產(chǎn)領(lǐng)域的入場券。但真空蒸鍍機(jī)也并不是那么好造的。

　　真空蒸鍍機(jī)可以說是一個龐然大物，其真空生產(chǎn)線有100米長，需要將屏幕面板在廠區(qū)間頻繁移動，所以說設(shè)備的可靠性和精度是重中之重。而OLED屏良品率的關(guān)鍵也在于蒸鍍設(shè)備的準(zhǔn)確度。所以說這么大型的設(shè)備還要控制到5微米的精度，其制造難度可想而知。

　　TOKKI公司產(chǎn)品

　　即使這樣，我國企業(yè)也不畏艱難，成功突破了國外技術(shù)壁壘，研發(fā)出了自己的國產(chǎn)真空鍍膜機(jī)。

　　去年10月份我國首條OLED蒸鍍量產(chǎn)線成功點(diǎn)亮，這是國內(nèi)首條自主設(shè)計的OLED照明G2.5代量產(chǎn)線，并成功點(diǎn)亮多種顏色的OLED照明面板，該量產(chǎn)線的成功是國產(chǎn)OLED裝備關(guān)鍵技術(shù)的重大突破。

　　除了這些還有合肥的兩個廠家已宣布成功研發(fā)真空蒸鍍機(jī)，打破國外高端蒸鍍機(jī)的壟斷，研制出了性價比高的OLED真空蒸鍍機(jī)，目前已經(jīng)接到了國內(nèi)面板企業(yè)的訂單，預(yù)計今年下半年就可以下線出貨。國有企業(yè)方面也成功研發(fā)出了真空蒸鍍機(jī)，中山凱旋真空科技的設(shè)備搭載精密對位系統(tǒng)，對位精度甚至可達(dá)到1um，該設(shè)備的精密等級在行業(yè)內(nèi)都算非常先進(jìn)的，基本可以和日韓同類機(jī)型相媲美。

　　從企業(yè)密集宣布真空鍍膜機(jī)技術(shù)的突破，我們看到了國內(nèi)該技術(shù)的蓬勃發(fā)展，雖然國產(chǎn)設(shè)備在精度和成熟度方面還不如日本企業(yè)，但目前我國已經(jīng)取得了從無到有的重大突破，相信隨著我國OLED的發(fā)展，我國的真空蒸鍍機(jī)將會越來越先進(jìn)和成熟，同時也期待我國生產(chǎn)的真空蒸鍍機(jī)未來能走向世界！