1. 真空設(shè)備用于排除實(shí)驗(yàn)過(guò)程中大氣對(duì)于樣品純凈度的影響。

2. 實(shí)驗(yàn)操作人員進(jìn)行操作過(guò)程中，切勿攜帶電子產(chǎn)品。

3. 實(shí)驗(yàn)操作人員需佩戴真空設(shè)備專(zhuān)用操作手套進(jìn)行操作，不能直接觸碰真空設(shè)備。

4. 真空設(shè)備配件應(yīng)在干燥箱內(nèi)保存，并遠(yuǎn)離具有腐蝕性的化學(xué)氣體或液體。

5. 真空設(shè)備需定期進(jìn)行擦拭，應(yīng)選用無(wú)塵紙或無(wú)塵布配套酒精或丙酮進(jìn)行清潔。

6. 實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持一定干燥度，實(shí)驗(yàn)操作人員應(yīng)每日檢查實(shí)驗(yàn)室的濕度及溫度情況。

7. 實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持良好通風(fēng)，以避免機(jī)械泵油氣所造成的影響。

8. 真空設(shè)備前級(jí)泵如使用油泵，應(yīng)定期更換干燥劑及機(jī)油。

9. 操作人員應(yīng)關(guān)注真空設(shè)備所使用分子泵的溫度，以免過(guò)熱導(dǎo)致儀器壽命縮短。

10. 操作人員應(yīng)在分子泵轉(zhuǎn)速降至安全線(xiàn)以下后，放入氮?dú)饣蛞旱?/p>

11. 操作人員應(yīng)密切關(guān)注高壓離子泵電源接口損耗程度，以防止操作人員觸電，確保安全。

12. 操作人員應(yīng)在真空度達(dá)到1×10-8mbar 以上啟動(dòng)離子泵。

13. 實(shí)驗(yàn)人員進(jìn)行操作時(shí)，應(yīng)嚴(yán)格按照各真空設(shè)備操作步驟進(jìn)行閥門(mén)開(kāi)關(guān)，以防止氣壓差所引起的倒抽現(xiàn)象。

14. 警鐘響亮?xí)r切勿再進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，應(yīng)立刻通知實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人及維修人員檢查。

15. 如遇特殊情況，應(yīng)立刻通知所有在場(chǎng)者迅速離開(kāi)，并切斷真空設(shè)備電源。