真空設(shè)備專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠家不乏檢測(cè)儀表和專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員，并有相當(dāng)豐富的維修經(jīng)驗(yàn)，因此，真空設(shè)備的檢測(cè)和維修應(yīng)該是沒(méi)有問(wèn)題的。而作為用戶(hù)，除非技術(shù)力量雄厚，但許多用戶(hù)一般不具備或不完全具備條件來(lái)進(jìn)行真空設(shè)備的維修。

問(wèn)：維修真空設(shè)備的要點(diǎn)是什么?

答：維修真空設(shè)備的要點(diǎn)是判斷故障。真空抽不上去，原因可能有幾個(gè)，一定要搞清楚是什么原因，是真空機(jī)組的抽氣能力不夠還是漏率高；或者兩者兼而有之。這時(shí)，應(yīng)該耐心觀察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時(shí)間相同，而真空度偏低，這時(shí)候，關(guān)閉高壓閥，如真空計(jì)指針很快下降，多數(shù)情況是真空室漏了，這時(shí)候應(yīng)先查出漏點(diǎn)。如真空計(jì)指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠，這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門(mén)的問(wèn)題上，看是哪里出現(xiàn)了泄漏，或是擴(kuò)散泵油被污染了，氧化了等；或是前級(jí)管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障。

問(wèn)：用戶(hù)z*頭痛的是什么?

答：用戶(hù)z*頭疼的是檢測(cè)漏率問(wèn)題。漏分內(nèi)漏和外漏；外漏比較好檢測(cè)，內(nèi)漏則難辦些。較大的漏點(diǎn)可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，用蠟燭或打火機(jī)在可疑點(diǎn)附近逐步查尋，會(huì)發(fā)現(xiàn)火苗向漏點(diǎn)偏移，則可找到漏點(diǎn)。我們用自制的檢漏儀可以在旋片泵工作范圍內(nèi)進(jìn)行檢漏，現(xiàn)在已經(jīng)生產(chǎn)ZHC．1型儀表。該檢漏儀表用ZJ．2電離規(guī)管，規(guī)管接在旋片泵吸氣口來(lái)檢測(cè)。若是擴(kuò)散泵機(jī)組的話(huà)，可以檢測(cè)到l0Pa級(jí)的漏率。

問(wèn)：小漏和微漏怎么查?

答：小漏和微漏就比較難查了，大家常用的方法是利用在高真空狀態(tài)下電離管對(duì)某些氣體反應(yīng)敏感來(lái)檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點(diǎn)時(shí)，電離計(jì)的指針會(huì)有明顯擺動(dòng)。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計(jì)的示值穩(wěn)定了，也就是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率平衡了，再?lài)娚洹*好是反復(fù)幾次，確認(rèn)漏點(diǎn)。ZHC一1儀表也可以用上述方法來(lái)檢漏，不同的是ZHC．1儀表能在旋片泵工作范圍內(nèi)進(jìn)行檢漏，而且不怕暴露于大氣中。

問(wèn)： 內(nèi)漏和外漏怎樣查?

答：內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上，查外漏沒(méi)有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn)。但是卻有以下現(xiàn)象；機(jī)械泵的抽速明顯偏低，真空計(jì)示值低，機(jī)械泵油很快乳化，真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕，具備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。有一臺(tái)25kg中頻爐，2X一70旋片泵和150羅茨泵兩臺(tái)泵加到一起抽也只能抽到l0Pa，150羅茨泵的作用顯現(xiàn)不出來(lái)，沒(méi)發(fā)現(xiàn)有外漏，卻具備了機(jī)械泵油很快乳化，真空室內(nèi)鐵基件明顯銹蝕的條件，解體設(shè)備清理干凈后用通冷卻水的方法查出是爐蓋漏水。剩下就是查出漏點(diǎn)。先把內(nèi)壁清理干凈，再通冷卻水，看有無(wú)濕潤(rùn)點(diǎn)，濕潤(rùn)處就是漏點(diǎn)。

問(wèn)：故障點(diǎn)找出后怎么處理?

答：找出故障點(diǎn)就可以因地制宜地進(jìn)行處理了，簡(jiǎn)單的辦法是換件，小到膠圈、螺栓，大到閥門(mén)、真空泵，只要手頭上有的都可以換；對(duì)于需要焊接的部位應(yīng)按要求來(lái)進(jìn)行，焊接后還需確認(rèn)達(dá)到了要求。

問(wèn)：維修應(yīng)注意哪些環(huán)節(jié)?

答：維修應(yīng)注意幾個(gè)環(huán)節(jié)、拆卸、清潔、檢驗(yàn)、裝配。真空設(shè)備無(wú)論大小都屬于精密機(jī)械設(shè)備，這點(diǎn)很重要。拆卸應(yīng)遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲；清洗零件時(shí)要干凈、徹底，以便于發(fā)現(xiàn)問(wèn)題和查出隱患；真空泵類(lèi)產(chǎn)品與一般機(jī)械產(chǎn)品有較大區(qū)別，一般機(jī)械產(chǎn)品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手，應(yīng)多加小心，切記。

檢驗(yàn)是個(gè)細(xì)致活，每個(gè)細(xì)節(jié)都不要落掉，更不能存在僥幸心理。有一臺(tái)設(shè)備，用戶(hù)存放4年了，做完了常規(guī)的清理工作按部就班地連接好管路開(kāi)始抽真空，怎么也達(dá)不到出廠標(biāo)準(zhǔn)，什么都查了，就是一根供氣的真空膠管沒(méi)查，當(dāng)時(shí)就認(rèn)為真空膠管不會(huì)漏。結(jié)果恰恰相反，問(wèn)題就出在這根真空膠管上。

再有，不論是用汽油還是其他溶劑清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶劑徹底揮發(fā)了才能進(jìn)行裝配，真空泵油若與其他的油或溶劑，或水混合會(huì)破壞其性能，影響真空泵的性能指標(biāo)。膠圈要擦干凈，仔細(xì)檢查有無(wú)缺陷，如裂紋等。還有尺寸是否正確，特別注意相近尺寸直徑的，像 3.1 mm 與3 mm；5.7 mm與6 mm的尺寸不對(duì)將影響密封。凡是有加熱位置的膠圈，每次拆卸清洗時(shí)必須換，比如油增壓泵各個(gè)接口。裝配時(shí)泵件同樣需要輕拿輕放；緊螺釘時(shí)用力要均勻，要從對(duì)角緊起。動(dòng)密封多用軸封，上軸封時(shí)要細(xì)心，先檢查軸封本身有無(wú)缺陷，密封面是否平整，軸封簧彈性如何。在軸封內(nèi)側(cè)可薄薄地涂上一層真空脂，上軸封時(shí)用力要均勻，骨架軸封不要壓偏了，偏了就會(huì)漏油、漏氣；軸封簧別擠出去，沒(méi)了軸封簧軸封就失效了，注意軸封與軸的同心度。有的泵是用對(duì)輪連接的，對(duì)輪的同軸度要求很?chē)?yán)格，裝配時(shí)要從軸的四面去量，保證平行一致。

羅茨泵的對(duì)齒輪調(diào)整的關(guān)鍵是兩個(gè)8型齒輪不相碰。擴(kuò)散泵的內(nèi)壁和噴射塔清洗干凈后z*好用電力紡擦干。由于國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的擴(kuò)散泵主要靠電爐絲的長(zhǎng)短來(lái)控制泵油的溫度，擴(kuò)散泵油的注入量就需要考慮當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)的實(shí)際情況來(lái)酌量增減，若K．400泵注油在分流槽上10 mm的話(huà)，K150泵就可以在分流槽上6 mm，泵的口徑大小不一樣注油量有差別；電網(wǎng)的電壓低注油可以減少2mm，只要是干凈的鋼直尺或鐵絲都可以用來(lái)測(cè)量。由于制造和使用上的差別，擴(kuò)散泵注油量的多少只能供大家參考。維修切記不可操之過(guò)急，故障沒(méi)搞清楚就想當(dāng)然地開(kāi)始動(dòng)手拆卸，會(huì)舊病未除又添新病。把本來(lái)簡(jiǎn)單的問(wèn)題搞復(fù)雜化了。

問(wèn)：應(yīng)急條件下設(shè)備出故障怎樣處理?

答：常規(guī)的維修可以按部就班地去做，應(yīng)急條件下設(shè)備出了故障，生產(chǎn)任務(wù)又急不可待，這種情況下，只要判斷故障準(zhǔn)確，采用手頭上現(xiàn)有的材料，真空封泥、真空封蠟、704硅膠、真空腔板等一切可用的材料。只要與在制品不發(fā)生沖突，就可以進(jìn)行修理。有一臺(tái)外地產(chǎn)的新鍍鏡機(jī)，正常工作月余，停機(jī)一天真空室門(mén)自己打開(kāi)了，用戶(hù)急于恢復(fù)生產(chǎn)，自行拆檢忙了兩天，沒(méi)有解決問(wèn)題。經(jīng)我們檢查發(fā)現(xiàn)是真空室門(mén)有缺陷，用真空封泥堵住缺陷，使用戶(hù)盡快地恢復(fù)了生產(chǎn)。有一臺(tái)中頻爐，低真空時(shí)工作正常，在6Pa時(shí)就放電，經(jīng)檢查發(fā)現(xiàn)是l尖端放電造成的，根本解決問(wèn)題的辦法是大修，需時(shí)一周。根據(jù)用戶(hù)急于使用的要求，用704硅膠封閉了l放電的尖端，第二天就能正常生產(chǎn)。有一臺(tái)真空設(shè)備，供熱密封采用刀口法蘭，用戶(hù)不慎使無(wú)氧銅墊出現(xiàn)了“雙眼皮”，造成漏氣。該密封處的溫度低于l100℃，用戶(hù)急用，用焊錫將無(wú)氧銅墊焊平，再用乙醇將松香清洗干凈，解決了該處的密封問(wèn)題。應(yīng)急的原則是在不損壞設(shè)備和不影響在制品的條件下做到設(shè)備能正常生產(chǎn)。

問(wèn)：主機(jī)與附件有什么關(guān)系?

答：還有一個(gè)重要問(wèn)題是與主機(jī)配套的相關(guān)部件，有一臺(tái)離子滲氮爐，工作一段時(shí)間后出了問(wèn)題，設(shè)備沒(méi)動(dòng)，操作工藝沒(méi)變，就是工件不能進(jìn)行離子滲氮。用戶(hù)和廠家查不出問(wèn)題的所在，感到困惑。經(jīng)過(guò)試驗(yàn)和查找，確定是配套的供氣管路出了問(wèn)題。用戶(hù)用的是氧氣管，用戶(hù)認(rèn)為氧氣管耐正壓沒(méi)問(wèn)題，耐負(fù)壓也一定沒(méi)問(wèn)題；其實(shí)不然。換管后問(wèn)題解決了。我們建議國(guó)內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)在生產(chǎn)主機(jī)的同時(shí)為用戶(hù)提供相應(yīng)的配套裝置。有時(shí)配套裝置出的問(wèn)題會(huì)影響主機(jī)。

問(wèn)：真空設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。如何處理各種復(fù)雜問(wèn)題?

答：現(xiàn)在真空設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域愈來(lái)愈廣，很多是與電、電磁、水、氣源和制冷有關(guān)的。不論是真空爐還是鍍膜設(shè)備都會(huì)碰到電氣部分出問(wèn)題。相當(dāng)多的情況下不是電源部分的問(wèn)題，這一點(diǎn)讓人不好理解。其中有的是機(jī)械裝配中不細(xì)心造成的，有的是絕緣材料或結(jié)構(gòu)上的問(wèn)題。這時(shí)，不要急于下結(jié)論，不要急于拆卸設(shè)備，應(yīng)認(rèn)真分析故障現(xiàn)象或請(qǐng)教專(zhuān)門(mén)從事此項(xiàng)工作的人員。避免誤拆誤卸造成不必要的損失。有一臺(tái)專(zhuān)用設(shè)備，工作時(shí)發(fā)生放電現(xiàn)象，經(jīng)過(guò)對(duì)工作記錄的分析和與操作者的交流，得出不同的結(jié)論，有人認(rèn)為電源有問(wèn)題，有人認(rèn)為是裝配過(guò)程的問(wèn)題。z*后，對(duì)設(shè)備進(jìn)行了拆卸，重新裝配后放電現(xiàn)象消除了。有一臺(tái)磁控濺射鍍膜機(jī)，下半部的產(chǎn)品明顯好于上半部的，靶的外表看不出什么問(wèn)題來(lái)，拿高斯計(jì)一試，上半部磁環(huán)退磁了。經(jīng)檢查原來(lái)是水路出了問(wèn)題。調(diào)整了水路，換了磁環(huán)，產(chǎn)品上下一致的問(wèn)題得到了解決。