壓縮式真空計和U型管真空計一樣都屬于液位式真空計,因為它是由麥克勞(Mcleod)z*先提出,因此也被稱之為麥克勞真空計,簡稱麥氏計,今天就來講講它。
壓縮式真空計是通過改進U型管真空計而來,同樣是用硬質(zhì)玻璃吹制而成。它的原理是依據(jù)理想氣體中的玻義耳定律,因此其測量條件除了要求被測真空系統(tǒng)內(nèi)的壓力要穩(wěn)定外,還要求被測氣體服從玻義耳定律,否則會產(chǎn)生測量誤差。壓縮式真空計的測量范圍和真空計產(chǎn)品的常數(shù)、毛細管長度等有關(guān),不同的產(chǎn)品常規(guī)的測量范圍在100Pa~10-3Pa之間。
壓縮式真空計結(jié)構(gòu)原理
如上圖壓縮式真空計由頂端封閉的測量毛細管、比較毛細管、玻璃泡、水銀貯存器、三通閥、導(dǎo)管以及刻度尺組成。測量前真空計的導(dǎo)管與被測真空系統(tǒng)相連,此時玻璃泡和測量毛細管、待測真空系統(tǒng)內(nèi)壓力相等。測量時用任意方法將水銀面提升至圖中M位置,此時被測真空系統(tǒng)與玻璃泡被隔絕,隔絕的瞬間玻璃泡以上空間壓力仍與被測系統(tǒng)壓力相等,但隨著水銀面繼續(xù)提升,玻璃泡內(nèi)的氣體會被壓縮,體積減小,壓力增高,測量毛細管與比較毛細管中的水銀面就會出現(xiàn)液位差(如圖右側(cè)所示)。這個時候根據(jù)壓縮式真空計的基本方程式就可得出被測真空系統(tǒng)的壓力。
壓縮式真空計在測量時需要提升水銀,測量結(jié)束時水銀回落到貯存器,過程中不同的真空計水銀升降的方式可能會有所不同,歸納起來有3種:改變水銀貯存器位置、改變水銀面上方壓力以及改變水銀貯存器容積。另外根據(jù)原理實現(xiàn)方式的不同,壓縮式真空計還有座式壓縮式真空計、旋轉(zhuǎn)麥氏計等等之類的區(qū)分。