真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關(guān)鍵，真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否，將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。

漏氣率如何降低

1、盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角，要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。

2、抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，采用圓弧過渡，使氣路暢通無阻，但要考慮清洗清掃的方便性。

3、認(rèn)真設(shè)計(jì)真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu)，使氣路暢通，避免氣路堵塞。

4、打磨拋光真空系統(tǒng)內(nèi)表面，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。

5、盡可能減小真空室的體積，縮短管路系統(tǒng)。

密封形式的選擇

密封形式可根據(jù)所需真空度的高低及實(shí)際工作需要選擇密封形式。

密封部位進(jìn)行水冷后，其溫度在80℃左右，個(gè)別處溫度可達(dá)100℃以上)。所以，要選擇比較理想的密封圈材料。

用于真空密封橡膠材料，除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還要求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時(shí)要有一定的強(qiáng)度、硬度和彈性等。