抽氣的真空系統(tǒng)，一般應對任何嚴重的外部故障或危及真空系統(tǒng)整體的故障作出反應，當故障發(fā)生后，應立即關閉所有的閥門而使所有正常工作的泵繼續(xù)運轉。當任何機械真空泵發(fā)生驅動故障或放入大氣的時候，都應立即斷電停泵。后一種情況是由于真空泵的電機容量通常不適于對大氣的長時間抽氣，否則可能使電機和泵都過熱。擴散泵即使沒連通到前級泵也能繼續(xù)運行一段較長的時間，然而，如果在擴散泵工作區(qū)域內。渦輪分子泵在長時間大抽氣量情況下，過熱的可能性很大?，F(xiàn)代真空泵對這類問題一般都應設置適當?shù)谋Ｗo措施。在機械真空泵的入口管路上應當設置電磁放氣閥，當機械真空泵停泵時，放氣閥應關閉機械泵和擴散泵之間的管路并向機械真空泵泵腔內充大氣，否則機械泵內的油會因壓差作用而遷移進入擴散泵中，當擴散泵加熱器工作時機械泵油就會分解，污染擴散泵泵壁及系統(tǒng)。擴散泵應設置冷卻水水壓或流量繼電器，并與電氣系統(tǒng)連鎖控制。

1.氣泵除電機轉子兩只軸承外，其它部位沒有直接接觸摩擦。本氣泵軸承安裝方式主要分二類。第一類氣泵端的軸承安裝在電機機座和葉輪中間的泵體內，這類氣泵平時不需要加潤滑脂。第二類氣泵端的軸承是安裝在泵蓋中間，此類氣泵端的軸承應定期加潤滑脂。每月一次，對于三班連續(xù)工作的氣泵應當增加加油次數(shù)。此類氣泵電機風扇端的軸承維護保養(yǎng)按第一類氣泵。

2.進出氣兩端的過濾網(wǎng)和消音器應根據(jù)情況適時清洗，以免堵塞影響使用。

3.進出氣口外聯(lián)接必須采用軟管聯(lián)接。

4.軸承的更換：更換軸承必須由熟悉修理工作的人進行操作。先擰松泵蓋上的螺釘，然后按圖示順序。

5.逐一拆卸零件，拆下的零件應經(jīng)過清洗，然后按反順序裝配。拆卸時，不能硬撬葉輪。