q*領(lǐng)先的真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相應(yīng)增值服務(wù)供應(yīng)商Edwards公司將在3月18-20日于上海新國(guó)際博覽中心(Shanghai New International Expo Centre，SNIEC)舉辦的SEMICON China展會(huì)上展示一系列高性能真空泵，包括z*近推出的STP-iXA4506大容量(large-capacity)渦輪分子泵(turbomolecular pump，TMP)。對(duì)于目前世界z*大的半導(dǎo)體集成電路市場(chǎng)，SEMICON China展會(huì)是設(shè)備制造商展示其產(chǎn)品和技術(shù)的重要活動(dòng)。

　　

　　Edwards公司總部設(shè)在英國(guó)，擁有完善成熟的q*品牌。Edwards公司真空和尾氣處理技術(shù)致力于在整個(gè)半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中減少污染、降低能耗和運(yùn)營(yíng)成本，這些領(lǐng)域包括LED、太陽(yáng)能光伏(solar PV)和平板顯示(flat-panel display，F(xiàn)PD)等。

　　

　　Edwardsq*市場(chǎng)半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)理Maiku Boger表示：“中國(guó)的半導(dǎo)體行業(yè)繼續(xù)表現(xiàn)出強(qiáng)勁增長(zhǎng)，尤其是受到國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的推動(dòng)。中國(guó)的戰(zhàn)略目標(biāo)包括新能源和環(huán)境的可持續(xù)性，因此，太陽(yáng)能光伏(PV)、FPD和化合物半導(dǎo)體等都屬于中國(guó)非常具有競(jìng)爭(zhēng)力的廣泛工業(yè)領(lǐng)域。Edwards公司的真空和尾氣處理系統(tǒng)是滿足這個(gè)巨大市場(chǎng)供應(yīng)鏈的絕對(duì)核心，從2005年開始，業(yè)界公認(rèn)中國(guó)已經(jīng)是世界z*大的半導(dǎo)體芯片市場(chǎng)。”

　　

　　Edwards的真空和尾氣處理系統(tǒng)緩解了一系列環(huán)境威脅，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中產(chǎn)生的酸性和腐蝕性氣體，Edwards可幫助用戶實(shí)現(xiàn)碳排放為負(fù)值(carbon-negative)。Edwards通過(guò)一系列創(chuàng)新但已經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的泵和系統(tǒng)來(lái)提供高能效解決方案，所有這些方案都僅需要相對(duì)較低的資本投入和維護(hù)成本。

　　

　　Edwards在中國(guó)的主要目標(biāo)就是按照客戶的特定要求來(lái)提供定制的真空解決方案和增值服務(wù)，以便幫助他們應(yīng)對(duì)在先進(jìn)工藝和設(shè)備制造中遇到的挑戰(zhàn)。Edwards能夠在需要尾氣處理的場(chǎng)合提供“交鑰匙”系統(tǒng)方案。

　　

　　Edwards將在上海展會(huì)展示新型STP-iXA4506大容量(large-capacity)渦輪分子泵(turbomolecular pump，TMP)，該新發(fā)布的產(chǎn)品經(jīng)專門設(shè)計(jì)為成本敏感的半導(dǎo)體、FPD、LED和太陽(yáng)能電池板制造商節(jié)省投資。STP-iXA4506具有高速度(4300 l/s N2)和高排氣量(高達(dá)4300 sccm N2)，并且結(jié)合了高效抽吸輕、重氣體的能力，因而成為廣泛的大容量、高流量應(yīng)用的理想選擇，這些應(yīng)用包括半導(dǎo)體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽(yáng)能物理氣相沉積(physical-vapour deposition，PVD)和PVD鍍膜。

　　

　　Edwards在展位上展出的其它產(chǎn)品包括iH600、iXM1200 / 1800、STP iXA3306和 iXH645H：

　　

　　iH600干泵為PECVD和LPCVD等復(fù)雜困難工藝提供了高可靠性，這些工藝存在著粉塵顆粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品。

　　

　　iXM1200 / iXM1800是Edwards公司s*次在中國(guó)展出的優(yōu)化節(jié)能型設(shè)備，具有超低功率輸入。它還具有同類z*佳的粉體處理和耐腐蝕性，達(dá)到z*高可靠性并延長(zhǎng)泵的使用壽命。

　　

　　STP-iXA3306磁浮式渦輪分子泵帶有完全集成的板載控制器，無(wú)需泵和控制單元之間使用連接電纜。它還消除了安裝空間和成本，上述附件是傳統(tǒng)分體式(rack-type)控制單元所需要的。

　　

　　iXH645H干泵已針對(duì)MOCVD工藝進(jìn)行了優(yōu)化，該工藝用于LED制造和其它形式的化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)。iXH泵的先進(jìn)技術(shù)可使維護(hù)需求z*小化并使泵的運(yùn)行時(shí)間z*大化，幫助降低運(yùn)營(yíng)成本。