“滑閥式
真空泵的抽氣原理與片泵相似,當(dāng)兩者結(jié)構(gòu)不同?;y式
真空泵是利用滑閥機(jī)構(gòu)來(lái)改變吸氣腔容積的,故稱
滑閥泵。”滑閥泵雖然是一種老泵,但與
旋片泵等比較,它具有允許工作壓力高(10
4 pa)、抽氣量大、能在惡劣環(huán)境下連續(xù)工作,經(jīng)久耐用等突出特點(diǎn),所以在
真空冶煉、
真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用。目前
真空行業(yè)中廣泛使用的油封式真空泵大多是中、小型的選片泵和中、大型的華發(fā)泵。旋片泵在較臟的工作條件下,旋片泵在轉(zhuǎn)子槽中卡住。盡管滑閥泵對(duì)這一缺點(diǎn)有一定程度的克服,但由于滑閥的質(zhì)心相對(duì)回轉(zhuǎn)中心的距離不是定值,雖然結(jié)構(gòu)上采取了一些平衡措施,但尚不能達(dá)到完全平衡,故振動(dòng)難以完成消除。尤其泵的容量越大,振動(dòng)亦更大。同時(shí)上述兩種泵,特別是滑閥泵與其排氣量相比外形尺寸顯得較大。