選用真空泵的注意事項(xiàng)
沈陽紀(jì)維應(yīng)用技術(shù)有限公司 寧憲寧
1.真空泵選擇的原則 在設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)時(shí),s*先要正確選擇真空泵的類型,確定真空泵的大小?!?br />
2.真空泵類型的選擇 在選擇真空泵的類型時(shí),需要考慮的包括被抽真空室要達(dá)到的極限壓強(qiáng)和工作壓強(qiáng),被抽氣體的種類,和真空泵采購的初始投資與運(yùn)行中的日常維護(hù)費(fèi)用?!?br />
3.真空泵工作壓強(qiáng)范圍的選擇 s*先要根據(jù)被抽真空室要達(dá)到的極限壓強(qiáng)和工作壓強(qiáng),正確選擇真空泵的工作壓強(qiáng)范圍。 從設(shè)計(jì)與制造者的角度,每種真空泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:無油渦旋真空泵的工作壓強(qiáng)范圍為大氣~1Pa。在這樣寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為10E4~10Pa。因而,無油渦旋真空泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),而不能讓它在大氣下或者1Pa下長期工作。 從用戶的角度看,真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足被抽真空室的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,通常選擇真空泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。例如:
真空鍍膜要求1×10
-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10
-6mmHg?!?br />
4.真空泵大小的選擇 選擇真空泵的大小,就是確定真空泵的抽氣能力。真空泵大小的選擇主要根據(jù)兩點(diǎn): s*先根據(jù)被抽真空室工作時(shí)所需要的工作壓強(qiáng)和室內(nèi)的z*大排氣流量來決定。每種泵都有其極限壓強(qiáng)和z*佳抽速壓強(qiáng)范圍,真空室內(nèi)壓強(qiáng)要在泵的z*佳抽速壓強(qiáng)范圍內(nèi)。 其次還要根據(jù)真空室的大小和抽氣時(shí)間要求來選擇。 另外真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。但大部分工作壓強(qiáng)是單獨(dú)一種真空泵所不能達(dá)到的。有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)抽真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵。所以需要正確地將不同的真空泵組合成為真空機(jī)組,以滿足工作要求。 例如半導(dǎo)體行業(yè)真空室體積較大,要求真空室內(nèi)工作環(huán)境清潔無油,抽氣時(shí)間盡量短、以提高工作效率。這時(shí)抽速為15~60立方米/小時(shí)(4~16升/秒)的無油渦旋真空泵,可以與
羅茨泵組成無油真空機(jī)組,達(dá)到接近600立方米/小時(shí)(150升/秒)的抽速,實(shí)現(xiàn)大抽速、清潔無油的目標(biāo),就能夠很好的滿足半導(dǎo)體行業(yè)鍍膜生產(chǎn)線的要求。
5.正確選擇適合被抽氣體種類的真空泵 由于真空泵有選擇性抽氣,因而有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。比如
分子泵需要前級(jí)粗抽泵啟動(dòng),與無油渦旋真空泵組合起來,便會(huì)使被抽真空室得到良好的真空度和清潔無油的真空環(huán)境。 如果被抽真空室要求清潔無油時(shí),應(yīng)該選各種無油真空泵,如:無油渦旋真空泵、螺桿泵、
水環(huán)泵、濺射
離子泵、
低溫泵以及分子篩
吸附泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等。 另外還應(yīng)當(dāng)考慮被抽氣體的種類,氣體中有無可凝蒸氣、有無顆粒灰塵、有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。
6.考慮真空泵對(duì)周圍環(huán)境的影響 如果工作場所周圍環(huán)境不允許有污染,如潔凈室等,就要選擇無油真空泵,如無油渦旋真空泵等。
7.考慮真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的噪音與振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境的影響 若工藝過程不允許噪音與振動(dòng),如分析測試儀器,就應(yīng)選擇噪音低、無振動(dòng)的真空泵或者采取隔離罩、軟連接等減噪、防振措施?!?br />
8.真空泵采購的初始投資與運(yùn)行中的日常維護(hù)費(fèi)用 要從整個(gè)設(shè)備全局的角度來選擇真空泵,綜合平衡價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維護(hù)費(fèi)用因素,考慮初始投資與日常維護(hù)費(fèi)用的平衡。如無油渦旋真空泵雖然采購?fù)顿Y較高,但是具有運(yùn)行中不需要油潤滑、也不需要冷卻水,具有省卻了冷卻水系統(tǒng)、不用更換潤滑油、不會(huì)對(duì)環(huán)境造成油污染、運(yùn)動(dòng)部件互相不接觸、能耗低、節(jié)省能源的優(yōu)點(diǎn),z*重要的是提供了清潔無油的真空環(huán)境,提升了設(shè)備檔次,順應(yīng)了濕法真空工藝向干法真空工藝轉(zhuǎn)變的發(fā)展趨勢,是很好的選擇。