干式真空泵的z*新進展及應(yīng)用      張振厚 （中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司，真空技術(shù)裝備國家工程實驗室 沈陽 110168）　　

       摘要：目前，我國已成為世界電子信息產(chǎn)品的主要生產(chǎn)國和產(chǎn)品加工基地，尤其是太陽能光伏產(chǎn)業(yè)，電池片產(chǎn)量約占q*產(chǎn)能的1/5，我國已經(jīng)成為名副其實的世界光伏產(chǎn)業(yè)大國。但是，與上述產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀不相匹配的是，目前，我國真空獲得產(chǎn)品仍然停留在傳統(tǒng)的真空獲得手段上，大部分是有油真空系統(tǒng)，上述產(chǎn)業(yè)裝備配套的真空獲得系統(tǒng)幾乎全部依賴進口，嚴重影響了國家大力發(fā)展的太陽能光伏等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。 　

       本文介紹了國內(nèi)羅茨干泵（機組）、渦旋干泵、超高真空閘板閥等干式真空泵及系統(tǒng)的z*新研發(fā)進展；分析了集成電路、太陽能光伏產(chǎn)業(yè)等對干式真空泵及系統(tǒng)的需求；列舉了干式真空泵在上述產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用；對于具有自主知識產(chǎn)權(quán)并大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的干泵，提出了新的研發(fā)思路和條件。 　z*后，文章介紹了國家對真空行業(yè)的政策支持，以及“十一五”國家重大專項：極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝——干泵與系列真空閥門產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目進展情況。