21世紀(jì)真空獲得技術(shù)的展望

       姜燮昌上海真空泵廠 201709 

       我國真空獲得設(shè)備的現(xiàn)狀: 真空獲得設(shè)備是一個(gè)z*大面廣的產(chǎn)品，產(chǎn)量很大，產(chǎn)值不高，但它確實(shí)是一個(gè)影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。

       真空獲得設(shè)備從粗、低真空到超高真空,其產(chǎn)品大致可分成14大類:
       高/超高真空——分子泵、低溫泵、濺射離子泵、鈦升華泵、油擴(kuò)散泵中真空——干泵、雙極選片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸汽噴射泵粗、低直空——單級(jí)旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復(fù)式真空泵

       我國的真空工業(yè)自從1934年在上海誕生第一臺(tái)往復(fù)式真空泵以來，已有70年的歷史。目前國內(nèi)的真空企業(yè)中70％以上都是以生產(chǎn)真空泵和真空機(jī)組為主。各種往復(fù)泵、水環(huán)泵、旋片泵、滑閥泵、羅茨泵、水蒸汽噴射泵、油增壓泵、油擴(kuò)散泵均已形成系列，并批量生產(chǎn)。雖然上述這些我們稱之為“傳統(tǒng)的真空獲得產(chǎn)品”在極限真空、抽氣速率等主要技術(shù)指標(biāo)與國外同類產(chǎn)品相比差距不大，但其綜合性能質(zhì)量差距很大。尤其是量大面廣的旋片泵、滑閥泵、羅茨泵普遍都存在振動(dòng)噪聲大、噴油漏油以及故障率高、可靠性差的問題，國產(chǎn)的水環(huán)泵普遍也是功耗大，抽氣效率低。油擴(kuò)散泵返油都比較嚴(yán)重，而且工作壓強(qiáng)范圍也比國外泵窄了半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。

       目前我國真空技術(shù)的應(yīng)用90％左右都是集中在傳統(tǒng)的工業(yè)領(lǐng)域，如真空冶金、真空熱處理、真空于燥、真空浸漬、真空蒸餾、濃縮以及一般的光學(xué)鍍膜和裝飾鍍膜等。這些裝置的高真空泵仍然以油擴(kuò)散泵為主，前級(jí)泵都是以旋片泵、滑閥泵、水環(huán)泵為主。近年來國外的真空技術(shù)已從傳統(tǒng)的工業(yè)領(lǐng)域轉(zhuǎn)向半導(dǎo)體、平板顯示(LCD、PDP、0LED)、納米科技、精細(xì)化工等高端產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，真空系統(tǒng)已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,有油的真空系統(tǒng)已被清潔無油、耐腐蝕的真空系統(tǒng)所代替。所以國外各種類型的干式真空泵、復(fù)合分子泵、懸浮軸承分子泵和低溫泵發(fā)展很快，市場上均有商品出售。而國內(nèi)這一類產(chǎn)品除分子泵外尚屬空白，無法適應(yīng)時(shí)代發(fā)展的需要。