真空鍍膜技術(shù)是一種新穎的材料合成與加工的新技術(shù)，是表面工程技術(shù)領(lǐng)域的重要組成部分。而它的薄膜監(jiān)控方式有多種，下面就和我們一起來(lái)看看真空鍍膜設(shè)備的一些主要監(jiān)控方式吧。

第一、定值監(jiān)控法

此辦法使用停鍍點(diǎn)不在監(jiān)控波長(zhǎng)四分之一波位，然后由計(jì)算機(jī)計(jì)算在波長(zhǎng)一時(shí)總膜厚之反射率是多少，此即為中止鍍膜點(diǎn)。

第二、目視監(jiān)控

使用雙眼監(jiān)控，因?yàn)楸∧ぴ诔砷L(zhǎng)的過(guò)程中，因?yàn)楦缮娆F(xiàn)象會(huì)有色彩改變，我們即是依據(jù)色彩改變來(lái)操控膜厚度的，此種辦法有必定的差錯(cuò)，所以不是很精確，需求依托經(jīng)歷。

第三、水晶振動(dòng)監(jiān)控

使用石英晶體振動(dòng)頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的。可是石英監(jiān)控有一個(gè)欠好的地方即是當(dāng)膜厚添加到必定厚度后，振動(dòng)頻率不全然因?yàn)槭⒆陨淼奶匦允购穸扰c頻率之間有線性關(guān)系，此刻有必要使用新的石英振動(dòng)片。

第四、極值監(jiān)控法

當(dāng)膜厚度添加的時(shí)候其反射率和穿透率會(huì)跟著起改變，當(dāng)反射率或穿透率走到極值點(diǎn)的時(shí)候，就能夠知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長(zhǎng)（入）的四分之一的整倍數(shù)?？墒菢O值的辦法差錯(cuò)對(duì)比大，因?yàn)楫?dāng)反射率或許透過(guò)率在極值鄰近改變很慢，亦即是膜厚ND添加許多，R/T才有改變。反映對(duì)比活絡(luò)的方位在八分之一波利益。