真空鍍膜設(shè)備鍍膜常用監(jiān)控方法比較多，主要有：目視監(jiān)控法，定（極值）值監(jiān)控、水晶振蕩監(jiān)控、時間監(jiān)控等等。下面我們主要介紹目視監(jiān)控、定（極值）監(jiān)控和水晶振蕩監(jiān)控三種。

1、目視監(jiān)控

目視監(jiān)控也叫直接監(jiān)控，就是采用眼睛監(jiān)控，因?yàn)楸∧ぴ谏L的過程中，由于干涉現(xiàn)象會有顏色變化，我們就是根據(jù)顏色變化來控制膜厚度的，此種方式有一定的誤差，所以不是很準(zhǔn)確，需要依靠經(jīng)驗(yàn)。

2、定值監(jiān)控法：

此方法利用停鍍點(diǎn)不在監(jiān)控波長四分之一波位，然后由計算機(jī)計算在波長一時總膜厚之反射率（或者穿透率）是多少，此即為停止鍍膜點(diǎn)。

3、水晶振蕩監(jiān)控：

水晶振蕩的工作原理是：利用石英晶體振動頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的。但是石英監(jiān)控有一個不好之處就是當(dāng)膜厚增加到一定厚度后，振動頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關(guān)系，此時必須使用新的石英振蕩片。

以上幾種監(jiān)控方法各有優(yōu)劣，但通常鍍多層膜，會以光學(xué)監(jiān)控為主，石英晶體振蕩為輔助的方法。